Vacuum chamber for deposition of gradient thin films: Toward high-throughput structure-property correlative studies

Autor(en):

Lapkin, Dmitry; Nasro, Roody; Hagara, Jakub; Hofferberth, Bernd; Hinderhofer, Alexander; Gerlach, Alexander; Schreiber, Frank

Tübinger Autor(en):

Erschienen in:

Review of Scientific Instruments (2025), Bd. 96 (5), Article 053905

Verlagsangabe:

Melville : Aip Publishing

Sprache:

Englisch

Referenz zum Volltext:

ISSN:

0034-6748

DDC-Klassifikation:

530 - Physik
600 - Technik

Dokumentart:

Wissenschaftlicher Artikel

Das Dokument erscheint in: