Inhaltszusammenfassung:
Zur Bestimmung des quantitativen Potentialkontrastes auf IC Leiterbahnen werden üblicherweise Gegenfeldspektrometer eingesetzt. In dieser Doktorarbeit wird ein neuartiges Vielkanalsekundärelektronenspektrometer entwickelt, mit bis zu 1280 Kanälen. Die Sekundärelektronen (SE) mit höchster Intensität, zwischen 0 und 4 eV werden parallel detektiert. Das Spektrometer ist in eine Hochstrom Niederenergie Elektronensonde mit Immersionsobjektivlinse und 2 Wien Filtern integriert. Die Bildauflösung der Elektronensonde beträgt 50 nm bei einer Landeenergie der Primärelektronen (PE) von 1 keV und einem Strahlstrom von 50 nA. Die Wien Filter arbeiten als Strahlteiler für PE und SE. Nach der Auslenkung aus der optischen Achse der PE, wird das SE Spektrum in einem elektrostatischen Sektorfeld dispersiv aufgespaltet. Anschließend wird die Dispersion in einem zweistufigen Prozess, mittels elektronenoptischer Zoomlinse und lichtoptischem Vergrößerungsobjektiv nach dem YAG Szintillator, um den Faktor 100 vergrößert. Die Aufnahme des Sektrums wird im abbildenden Modus von einem Photomultiplier erledigt und im analytischen Modus über eine CCD Kamera realisiert. Im abbildenden Modus ist es möglich vollständig zwischen Sekundärelektronen und Rückstreuelektronen zu unterscheiden.