Inhaltszusammenfassung:
In dieser Arbeit wird die Entwicklung einer Transferoptik für ein neuartiges bildgebendes Sekundärionen-Massenspektrometer basierend auf einem Zweistrahlgerät aus fokussiertem Ionenstrahl und Rasterelektronenmikroskop und einem Ionenfallen-Massenspektrometer vorgestellt. Das ionenoptische Transfersystem, welches die beiden konventionellen Ausgangsgeräte verbindet, wird aus einer elektrostatischen Transferlinse und einem hochfrequenten Ionenleitsystem aufgebaut. Zur Entwicklung und Charakterisierung der elektrostatischen Transferlinse werden sowohl Transmissionsberechnungen, als auch Berechnungen der optischen Eigenschaften in paraxialer Näherung durchgeführt. Zur Charakterisierung des Hochfrequenz-Ionenleitsystem wird das Transmissionsverhalten eines einzelnen Hochfrequenz-Oktupols über Simulationen und über die adiabatische Näherung bestimmt. Anschließend wird die Transmission des Hochfrequenz-Ionenleitsystems unter dem Einfluss von stoßbedingter Dämpfung der Ionen an einem Hintergrundgas leichter Masse im Rahmen eines Hartkugelstreumodells simuliert. Konstruktion und Aufbau sowie einige an dem Aufbau erhaltene Ergebnisse werden anhand von exemplarischen Messungen vorgestellt. Mit dem durch die Integration des ionenoptischen Transfersystems erhaltenen neuartigen bildgebenden Sekundärionen-Massenspektrometer werden eine laterale Auflösung von 1µm und eine Tiefenauflösung von 1nm erreicht.