Inhaltszusammenfassung:
In dieser Arbeit wird ein Massenseparator entwickelt und zwischen Strahlerund
Objektivlinse einer Niederenergie-Ionensäule adaptiert. In diesem Bereich
ist der Strahlengang nahezu telezentrisch. Der Massenseparator besteht
aus zwei antiparallel erregten Wien Filtern und ist folglich, bezüglich der Aberrationen,
teilkorrigiert. Die Leistungsdaten der Niederenergie-Ionensäule
werden nicht beeinträchtigt, da für jedes Primärion die Erregung passend
gewählt wird. Experimentell konnten alle Ionen einer Gallium Flüssigmetallionenquelle
sowie einer Gold-Germanium-Silizium Legierungsquelle, bei einem
kinetischen Potential von 8 kV im Massenseparator, erfolgreich getrennt
werden.