Realisation eines teilkorrigierten Massenseparators aus zwei Wien Filtern für eine Niederenergie-Ionensäule

Abstract

In dieser Arbeit wird ein Massenseparator entwickelt und zwischen Strahlerund Objektivlinse einer Niederenergie-Ionensäule adaptiert. In diesem Bereich ist der Strahlengang nahezu telezentrisch. Der Massenseparator besteht aus zwei antiparallel erregten Wien Filtern und ist folglich, bezüglich der Aberrationen, teilkorrigiert. Die Leistungsdaten der Niederenergie-Ionensäule werden nicht beeinträchtigt, da für jedes Primärion die Erregung passend gewählt wird. Experimentell konnten alle Ionen einer Gallium Flüssigmetallionenquelle sowie einer Gold-Germanium-Silizium Legierungsquelle, bei einem kinetischen Potential von 8 kV im Massenseparator, erfolgreich getrennt werden.