Realisation eines teilkorrigierten Massenseparators aus zwei Wien Filtern für eine Niederenergie-Ionensäule

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Zitierfähiger Link (URI): http://hdl.handle.net/10900/53698
http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:21-dspace-536980
Dokumentart: Dissertation
Erscheinungsdatum: 2014
Sprache: Deutsch
Fakultät: 7 Mathematisch-Naturwissenschaftliche Fakultät
Fachbereich: Physik
Gutachter: Plies, Erich (Prof. Dr.)
Tag der mündl. Prüfung: 2014-05-30
DDC-Klassifikation: 530 - Physik
Schlagworte: Physik , Ion , Filter
Lizenz: http://tobias-lib.uni-tuebingen.de/doku/lic_mit_pod.php?la=de http://tobias-lib.uni-tuebingen.de/doku/lic_mit_pod.php?la=en
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Inhaltszusammenfassung:

In dieser Arbeit wird ein Massenseparator entwickelt und zwischen Strahlerund Objektivlinse einer Niederenergie-Ionensäule adaptiert. In diesem Bereich ist der Strahlengang nahezu telezentrisch. Der Massenseparator besteht aus zwei antiparallel erregten Wien Filtern und ist folglich, bezüglich der Aberrationen, teilkorrigiert. Die Leistungsdaten der Niederenergie-Ionensäule werden nicht beeinträchtigt, da für jedes Primärion die Erregung passend gewählt wird. Experimentell konnten alle Ionen einer Gallium Flüssigmetallionenquelle sowie einer Gold-Germanium-Silizium Legierungsquelle, bei einem kinetischen Potential von 8 kV im Massenseparator, erfolgreich getrennt werden.

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